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방법론
명 칭
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반도체산업에서 화학증기증착(CVD)반응기 세정을 위한 PFC가스의 교체
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방법론
분 야
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할로겐화탄소, 육불화항 생산및소비로부터의 탈루배출 - 온실가스 포집 및 파괴
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방법론
고 유
번 호
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11B-AM0092
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방법론
종 류
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CDM
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등 록
형 태
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직권등록
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